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| 品牌 | 其他品牌 |
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一、全柜式涂膠顯影一體機(jī)產(chǎn)品工作描述
1.1工藝步驟
涂膠（放片、滴膠、旋轉(zhuǎn)、取片）→烤機(jī)（放片、烘烤、取片）→轉(zhuǎn)移下道工序（曝光）→顯影（放片、旋轉(zhuǎn)顯影和水洗、甩干、取片）→（轉(zhuǎn)移下道工序）。
1.2控制系統(tǒng)
控制系統(tǒng)由7寸觸摸屏和PLC控制模式，實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中各工藝功能執(zhí)行情況。 可實(shí)現(xiàn)自由的配方編輯，自由修改、編輯、存儲(chǔ)、及調(diào)用工藝配方等。
二、全柜式涂膠顯影一體機(jī)規(guī)格
項(xiàng)目/Item | 規(guī)格 |
主體
| 外觀：不銹鋼 模組：勻膠、熱板、顯影； |
旋轉(zhuǎn)涂布模塊 | 轉(zhuǎn)速：20-10000 R.P.M 轉(zhuǎn)速精度: ±1 rpm 加速度：20-10000RPM/S 減速度：20-10000RPM/S 時(shí)間：1-3000S 均勻性:≤2% 控制方式: PLC 配方：50組20步 滴膠方式：手動(dòng)、自動(dòng) 擺臂：自動(dòng) 膠液容器：壓力罐、美式針筒、膠泵 附件：無(wú)油真空泵 吸盤規(guī)格（10mm、25mm、2英寸、4英寸、6英寸、8英寸以及嵌入式可選） |
烤膠模塊
| 溫度范圍:RT~250℃ 處理尺寸≤?200mm 溫度均勻性≤±1% 控溫精度±0.2℃ 冷板可選 |
顯影參數(shù) | 處理樣品尺寸：8寸以內(nèi) 承盤:特氟龍 轉(zhuǎn)速：20-3000 R.P.M 轉(zhuǎn)速精度：±1RPM 搖臂：自動(dòng) 藥液裝置：一路顯影、一路水 配方：可多步編程和程序存儲(chǔ) 附件：無(wú)油真空泵一臺(tái)； 吸盤一只（4、6寸兼容） |
三、系統(tǒng)需求
項(xiàng)目 | 描述& 規(guī)格 |
系統(tǒng)需求 | 排風(fēng):160 m3/h 真空:>-60 Kpa 壓縮空氣:5kg 氮?dú)?:3kg 水4*6mm 2.0Kgf/cm2 電壓：220V\50HZ |
四、設(shè)備尺寸
4.1尺寸&重量
參考尺寸：（寬*深*高）1600*1000*2200mm
重量: 400KG
地址：安徽省合肥市蜀山區(qū)湯口路香馨產(chǎn)業(yè)園
郵箱：317399383@qq.com
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