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產品型號
HMDS8-2 -
廠商性質
生產廠家 -
更新時間
2026-03-07 -
瀏覽次數(shù)
2326
產品描述
HMDS增粘涂膠機應用于在勻膠前的硅片等基片表面均勻涂布一層HMDS(六甲基二硅氮烷)。作用:降低HMDS處理后的硅片接觸角,進而降低勻膠時光刻膠在硅片表面鋪展開的難度,提高光刻膠與硅片的黏附性,降低光刻膠的用量。
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產品型號
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勻膠機設備簡介: 桌上型旋轉涂布機,用于對均勻性要求較高的表面涂布工藝,將光刻膠溶液手動涂覆在硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵、鈮酸鋰等基片上形成薄膜,主要應用于12寸以內樣品。
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